真空热处理炉有如下特点：

(1)严格的真空密封。金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因此，获得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量非常重要。所以真空热处理炉的一个关键问题，就是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉结构设计中必须遵循一个基本原则，就是炉体必须采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄漏的可能性。安装在真空炉体上的部件、附件，例如水冷电极、热电偶导出装置等也都必须设计密封结构。

(2)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用。真空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，因而对这些材料提出了耐高温，蒸气压低，辐射效果好，热导率小等要求，对抗氧化性能要求高。所以，真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等加热与隔热材料。这些材料在大气状态下极易氧化，因此，常规热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。

(3)水冷装置。真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。

(4)采用低电压大电流。在真空容器内，当真空度在1.33×10-4~1.33×10-5MPa的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉电热元件的工作电压，一般都不超过80～100V。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施，如尽量避免有尖锐的部件，电极间的间距不能太窄小，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。

(5)自动化程度高。真空热处理炉的自动化程度之所以较高，是因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作都在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在时间15 s内完成。在这样短的时间内完成许多动作，是很容易造成操作人员紧张而造成误操作。因此，只有较高的自动化才能准确、及时地按程序完成各种动作。