量具钢的热处理方法与刃具钢相似，进行球化退火，淬火+低温退火。为了获得较高的硬度和耐磨性，回火温度可低些。

量具在热处理时重要的是要保证尺寸的稳定性。出现尺寸不稳定的原因，主要是由于残留奥氏体转变为回火马氏体时所引起的尺寸膨胀，马氏体在室温下析出碳化物引起尺寸收缩，淬火及磨削所产生的残余应力也可导致尺寸的变化。虽然这些尺寸变化微小(2～3μm)，但对于高精度量具来说是不允许的。

为了提高量具尺寸的稳定性，对精密量具在淬火后应立即进行冷处理，然后在150～160℃下低温回火；低温回火后还应进行一次人工时效(110～150℃，24～36h)，尽量使淬火组织转变为较稳定的回火马氏体并消除淬火应力。量具精磨后要在120℃下人工时效2～3h，以消除磨削应力。