离子渗氮旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

离子渗氮旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
　　离子渗氮旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

(1)旋片1处于垂直位置，并与转子和定子问的固定切点4重合，吸气过程尚未开始。
　　(2)旋片1从A点转过一定角度，吸气空间逐渐增大气体便从被抽空问通过进气口进入吸气空间。
　　(3)旋片1到达水平位置，旋片2正好将进气口封死，气体不再进入吸气空间，吸气量达到最大。
　　(4)旋片继续旋转，被封闭在旋片1、2之间的气体受到压缩，压强不断升高，当压强超过一定值时，气体便推开排气阀由排气管排出。
　　(5)排气结束，恢复到第一个过程里，只是I、2两个旋片交换了一个位置。
以后的排气就按照上面的过程重复进行。这样每个旋片起了二个作用:使泵腔从进气口吸入气体，压缩已吸进来的气体，使其通讨排气阀排出去。当转子旋转一周时，旋片1,2各吸入一次气体和排出一次气体，因此转子旋转一周时，完成了两次吸气过程和两次排气过程。

青岛丰东离子渗氮真空的获取大多使用旋片泵，了解旋片泵的工作原理，有利于对设备的保养及维修。