辉光离子氮化工艺始于20世纪60年代末期，当时的西德和瑞士首先将离子氮化工艺用在枪炮内膛的氮化上，可提高寿命达三倍，后来美国及日本相继将辉光离子加热原理用于氮化、烧结、钎焊等方面。我国于20世纪60年代末开始研究，用此技术来改善零件表面性能。

　　离子氮化与一般气体氮化相比，具有如下特点：

　　1、离子氮化时间能缩短到气体氮化的1/4～1/2。以38CrMoAIA钢为例，一般要达到0.53mm—0.7mm，氮化层硬度HRN15≥92时，气体氮化持续时间需70h左右；而离子氮化只需15h—20h。又如4Cr14Ni14W2Mo钢，要达到0.09mm～0. 12mm，HRN15≥80时，气体氮化时间需47h，而离子氮化只需15h—20h。

　　2、零件的氮化表面形成单相结合层，而其脆性均为一级，所以零件在使用及磨削加工时，不会脆裂。因此，无需对已氮化表面为除脆性层而进行磨削加工，缩短加工周期。

　　3、离子氮化时，只对要求氮化的表面进行离子轰击，故只有氮化表面加温到氮化温度，非氮化表面温度较低，加之在氮化过程中，加温、保温、冷却所用的时间短，因而有利于减少零件的变形。对于一些几何形状复杂、尺寸精度要求高的氮化零件，采用离子氮化更为优越。基于同一原因，使离子氮化设备功率小，且氮化时间短，故总的电能消耗只有一般气体氮化的1/5—1/2。

　　4、气体氮化时，加热炉内氨气压力一定要大于105Pa;而离子氮化时，真空室内氨气压力只要求2.6X102Pa—1.3×103Pa，所耗氨气仅为气体氮化的1/5—1/20。

　　5、离子氮化的加热及冷却时间约为一般气体氮化的1/10。

　　6、有些局部氮化零件，如曲轴后半部、连轴套、支撑圈、排气门等，可以省去镀锡、镀镍工序。

　　7、可省去氮化前零件表面的繁杂清理工序。由于氮离子轰击零件表面，它能还原高合金钢表面的氧化膜，不需要在氮化前对氮化表面进行喷砂、化学腐蚀，或在炉内撒放氯化铵。

　　8、改善了劳动条件，基本上没有氨气臭味。

根据离子氮化特点，可应用于各类齿轮、枪炮管、活塞销、气门、曲轴、衬套、气缸等氮化上。