内氧化是指渗碳热处理钢在渗碳过程中虽然铁元素未满足氧化条件，但其中的合金元素如Cr、Mn、Si、Ti满足氧化条件形成合金氧化物，从而使渗碳钢表层出现须状或点状的脆性氧化物。

渗碳热处理过程中产生的氧化物，降低了工件的抗疲劳性能。在渗碳热处理加工过程中，无论是氮基气氛还是滴注式气氛，微量氧的存在仍是不可避免的。渗碳炉中气体与工件材料存在气固相平衡，炉内的微量氧可以渗入工件产生内氧化。解决方法：

一、 调节渗碳热处理工艺

目前在丁业上使用的所有气体渗碳的气氛巾都含有氧化物，例如COz、CO、H20等，从热力学上考虑，介质巾氧化物或氧势是钢在热处理中发生内氧化的外因。为了减少内氧化，首先必须存允许情况下尽可能降低气氛中氧化物含量或氧势，也就是提高碳势进行渗碳处理。

二、 选用合适的钢种

钢中尽量避免氧化性合金元素，例如Cr、Mn、Si、Ti等，但是此种方法实现较为困难。

三、 进行无氧热处理

例如在真空下使用不含氧的碳氮化合物如乙炔或甲烷中渗碳；或者在氨裂解气或氮中添加甲烷或其他无氧的碳化物的气氛中渗碳，但是由于投资大或和渗碳速度低或和炉内沉积大量碳黑和碳势不能控制等问题，而不能在工业上普遍应用。

渗碳热处理作为一种非常普遍的热处理加工方式，有很多的优点，但是在解决一些缺陷时，一定要结合实际，全面考虑问题，达到完美解决问题的目的。