渗氮（又称氮化）是将氮渗入钢件表面，以提高其硬度、耐磨性、疲劳强度和耐蚀性能的一种化学热处理方法。

离子渗氮技术于1930年由Berghaus发明并获得德国专利。20世纪70年代之后取得快速发展并逐渐成为材料表面改性工程中最实用的技术之一。

离子渗氮是在0.1~10 Torr的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极之间加上数百伏的直流电压。真空环境下，等离子体在电压的作用下形成定向移动，其中带正电荷粒子对阴极（被处理工件）形成轰击，将动能转化为内能，提高被处理工件温度。轰击除了对表面起到清理作用以外，还会产生像霓虹灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面，所以离子渗氮又称为辉光离子渗氮或辉光等离子渗氮。同时阴阳极之间经过一系列复杂的物理化学反应使产品表面渗氮，硬度与耐磨性提高。

离子氮化的显著特点是氮化速度快，热效率高，节约能耗，绿色环保无污染。