离子渗氮是在真空环境中进行的，因此了解真空泵的工作原理有利于日常的工作。下面就跟小编一起来了解一下离子渗氮真空的获取吧！

离子渗氮所使用的罗茨泵的结构如图1所示。在泵腔内，有两个“8”字形的你做转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此，罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空度。

图1

离子渗氮所用罗茨泵的工作原理既具有容积泵的工作原理，又有分子泵的抽气效应。图2为罗茨泵的工作原理图。

图2

由于转子的连续旋转，被抽气体从泵进气口吸入到下转子与泵壳之间的空间V0内，吸气后V0空间是全封闭状态。随着转子的转动，封闭的V0空间与排气口相通，由于排气侧气体压力较高，引起一部分气体反冲过来，使V0空间内的气体压力突然增高。当转子继续转动时，V0空间内原来封入的气体连同反冲的气体一起被排向泵外。这时，上转子又从泵入口封入V0体积的气体。由于泵的连续运转，使两个转子不停地形成封闭空间V0又不停地将封闭空间玑内的气体排出泵外，从而实现了抽气的目的。

了解了离子氮化罗茨泵的工作原理，有利于发现现场生产中的问题，并能够及时得到解决。青岛丰东一定用专业的态度帮助客户成功！