对于淬火变形来说冷却方式有较大的影响。一般采用均匀冷却的方法。

相变引起的尺寸变化能够因钢材的合理选择而变小。但是，当钢种若已选定时，则由此而产生的热处理尺寸变化是不可避免的。在实际淬火操作中，主要是因钢件各部位不同时发生相变而产生的变形、开裂及热歪扭。

为了缩小各部位马氏体化时间上的错开，采用在出现屈氏体组织附近的温度范围实行急冷，而在Ms点以下实行缓冷的方法较好。淬火冷却剂使用水时，则在Ms点以下冷却速度较大，则变形很大。要在Ms点以下实行缓冷，最好采用油中淬火，空气中冷却。水中急冷后，估计达到Ms点附近温度的时间，即从水中取出，移入油中，吹风冷却，空冷等。若淬火移入油中的时间能够很好地掌握的话将是有效的。

等温淬火或者分级淬火对于减轻变形尤其有效。在等温淬火中有利于进行矫正歪扭。

高频淬火，由于加热表皮，整体变形小是个优点。同时正确地支撑零件，使用稳定的高频加热装置，以一定量的水，一定的方向，一定的时间进行喷射淬火，这样产生的歪扭也是稳定的。但这时同样要注意被硬化表面应均匀地进行冷却。

将应硬化的部分浸在液体中（水中或油中），运用安装了纯铁的电感以高电流密度进行高频加热，连续淬火。这种方法能使歪扭特别小。钢件在液体中加热，零件表面在液体沸腾的温度下加热则形成了一层蒸汽薄膜，由于这种膜妨碍传热，所以加热时的热损失并不太大。这种方法是在进行刻模齿轮的淬火硬化时采用成功的。同时也适用于大直径管材的内表面淬火等场合。