对于精密或超精密轴承件以及用轴承钢制造的其他精密件的热处理，为减少淬火组织中的残留奥氏体，并使剩余的少量残留奥氏体趋于稳定，从而增加尺寸稳定性和提高硬度，淬火后还需进行一次冷处理。一般精密件的冷处理温度为-20℃，超精密件的冷处理温度为-78℃，时间为1～1.5h。工件淬火后应冷至室温，与冷处理之间的间隔不超过2h，冷处理后回火。

为了消除轴承件在磨削时产生的应力，进一步稳定组织，提高尺寸稳定性，精密轴承或重要轴承在磨削后需要进行稳定化处理（补充回火）。稳定化处理的温度比回火温度低20~30℃，一般为120~160℃，保温时间按轴承精度选择，一般为3～5h，多则12h，最多可达24h。也可在粗磨和精磨后各进行一次。