真空炉在我国的发展时间不长，由于生产成本高和一次性投资大，因此其应用的范围也受到一定的限制，在国外工业发达国家真空炉的数量在23%以上，与可控气氛炉基本相当，其发展的进度很快，机械化程度和工艺水平更高，几乎可以实现金属材料的全部热处理工艺，如淬火、回火、退火、渗碳、氮化、渗金属等热处理工艺，完成气淬、油淬、硝盐淬和水淬等淬火处理。对工模具钢而言，在真空炉内加热时，减少了辐射换热，加热的速度缓慢，零件的各部分受热均匀，因此变形量很小。冷却后的零件表面处于压应力状态，故零件具有良好的综合作用，疲劳强度和抗拉强度明显提高，使用寿命比普通的盐浴炉处理的零件提高2～10倍。

按工艺的种类，真空炉可以实现真空淬火和回火、真空退火、真空固溶和时效、真空烧结、真空化学热处理以及真空镀膜等，因此真空炉可实现别的热处理设备无法处理的复杂工艺，随着社会的进步和科学技术的发展，必将发挥其巨大的作用。因此从某种意义上讲，真空炉为几乎所有的有色金属和黑色金属退火、淬火、回火、化学热处理等提供了保障。

对耐热钢、不锈钢等零件经真空退火后，表面光洁，提高了零件的表面的抗腐蚀性和对晶粒间的腐蚀能力。另外可实现真空堆焊、软化退火、真空镀膜等，其他热处理设备是无法比拟的。

机翼大梁、起落架、高强度螺栓等重要飞机零件的材料为30CrMnSiA、30CrMnSiNi2A经真空热处理后，抗拉强度提高，而其塑性和韧性没有发生明显的变化，断裂韧性降低而低温的冲击韧性较高。疲劳强度提高了100倍以上，冲击磨损和低温拉伸寿命分别提高1.5～2.4倍和1.6～3.5倍，显示了真空热处理的优势。

除了上述几类热处理加热设备外，还有完成表面加热的感应加热设备、火焰加热装置、激光加热装置、电阻加热、电接触加热等，它们具有加热时间短、生产效率高、表面硬度高、有高的疲劳强度等特点，感应加热设备缺点也是十分明显的，无法进行大批量的作业，设备的投资大等。火焰加热具有灵活操作的特点，但质量很难得到有效的保障，常作于非重要零件的热处理。